机器人：目前公司已成功研发多【duō】款【kuǎn】新【xīn】型双臂真空机械手，部分产品已【yǐ】进【jìn】入客户端【duān】验【yàn】证阶段，预【yù】计未来将成为【wéi】公司半导体业务【wù】新的增长点

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同花顺（300033）金融研究中心【xīn】9-22讯，有投【tóu】资者向机器【qì】人（300024）提【tí】问， 董秘，您好！请问贵【guì】公司【sī】有半导【dǎo】体设备的订单？请回复，谢谢。

公司回答【dá】表示【shì】，您好，公司半导体装备业务产品主【zhǔ】要【yào】为【wéi】自主【zhǔ】研【yán】发的真空机械手及集束型设【shè】备，包括：大【dà】气机械【xiè】手、真【zhēn】空机械【xiè】手【shǒu】等系列【liè】产品、EFEM、真空传输平【píng】台，主要应用【yòng】在刻蚀、CVD、PVD、CMP、Descum、立式炉【lú】等工艺环节及领域，服务的【de】下游行业是半导体工艺设备厂商。2022年度，公司半导【dǎo】体设备产业化应【yīng】用【yòng】初【chū】具规模，广【guǎng】泛服务于硅【guī】片【piàn】生产、晶圆加工、先【xiān】进封装及封【fēng】装测【cè】试等半【bàn】导体制造全产业【yè】链，为客户【hù】产业链及供应链【liàn】安全的稳定提【tí】供多元保障，品【pǐn】牌效应显【xiǎn】现。真【zhēn】空【kōng】机械手方面，两【liǎng】轴真空直驱机械手产品【pǐn】，已实现小批量、多批【pī】次应用【yòng】在客户端，公司目前已完【wán】成13种两轴真【zhēn】空直驱【qū】机械手【shǒu】平台的研发。三轴真空直驱机械手产品，处【chù】于客户端验证阶【jiē】段，其结【jié】合全新【xīn】控制器软硬【yìng】件平台的【de】应用【yòng】，可支撑【chēng】下游客户的长【zhǎng】期应用。四轴真空【kōng】直驱机械手产品处于研发阶段。目【mù】前，公司已成功研发多款新型【xíng】双臂真空【kōng】机械手，部【bù】分产品已进入客【kè】户端验证阶【jiē】段【duàn】，预【yù】计未【wèi】来将【jiāng】成为公司半导体业务新的增长点。2022年度，公【gōng】司半导体装备业务【wù】实现收入2.44亿【yì】元。公司半【bàn】导【dǎo】体装备业务的具体情况，请您查阅公司《2022年年度报告【gào】》。